Máy quang phổ huỳnh quang tia X  Epsilon 3X là sản phẩm của hãng PaNalytical,đây là thiết bị phân tích huỳnh quang dựa trên cơ sở đo tia X để tiến hành phân tích định tính, định lượng và để kiểm tra phân biệt hàm lượng và các nguyên tố cấu thành của mẫu.